气体的监测和分析是检查气体质量、确保用气点或用气设备能所用高纯气体的重要手段，也是保证安全生产的重要措施。高纯气体的监测与分析，只有采用先进的分析方法和精密的分析仪器，才能获得精i确的分析数据。气体监测和分析的重要性随着晶片的几何结构缩小，集成电路集成度的不断提高，即使有极微量的气态杂质的沾污和的尘埃污染，也会给生产带来严重的破坏性。
高纯气体-化学性质的化学性质比较不活泼。常温下,很难与酸、碱、氧化剂等发生反应,但在加热情况下,它能与一些物质时行反应,在适当条件下能发生氧化、卤化、热解等反应。的可燃性、爆作性和毒性是一种可燃性气体,自燃点为537℃。与空气的混合气体在点燃时会发生爆作。在空气中的体积爆i炸范围为5。3-4。0%,质量爆迷途知炸范围为35-93毫克/升。与氧气的体积爆i炸范围懔8。25-55。8%。和氯i气的混合气,受到日光照射时,也容易引起爆i炸。
工业气体是一种瓶装压缩液态气体，在常温常压下呈气态，气体种类有繁多，主要用于各种工业制造方面。气体产品作为现代工业重要的基础原料，应用范围十分广泛，在冶金、钢铁、石油、化工、机械、电子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工等部门，均使用大量的常用气体或特种气体。高纯气体(PurifiedGases)气体工业名词，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体，纯度指标不同。
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