特种气体分类：高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯 度的气体，对于不同类别的气体，纯度指标不同，大多用于超大规模集成电路及分离器 件、光电子等高科技领域；特种气体的储存注意事项：储存场地的道路，应占整个场地面积的20%以上。充填容器和空容器需要明确区分存放。充填容器入库前需检漏，长期存放的充填高压容器需要每月复检一次，并做记录。灭菌特种气体可杀灭细菌（及其内孢子）、霉菌及真菌，因此可用于消毒一些不能耐受高温消毒的物品。
特种气体在太阳能电池中的应用：晶体硅电池片生产中的扩散工艺用 到 POCl3 和 O2，减反射层 PECVD 工艺用到 SiH4、NH3，刻蚀工艺用到 CF4；灭菌特种气体由于它的活泼型，杀菌力强、杀菌谱广，对物品损害轻微等优点，已成为目前主要的日常低温灭菌方法之一，特种气体的重要性：电子特种气体决定了集成电路的终良率和可靠性。由于电子气体用途多，用量大。所以电子气体也直接决定了 终芯片的良率和可靠性，
特种气体是工业气体中的一个新兴门类，是随着近年来科学研究、自动 化技术、精密检测，特别是微电子技术的发展而发展起来的。特种气体的重要性：电子特种气体决定了集成电路的终良率和可靠性。由于电子气体用途多，用量大。所以电子气体也直接决定了 终芯片的良率和可靠性，特种气体在太阳能电池中的应用：非晶硅太阳能 电池在 LPCVD 沉积 TCO 工序用到 DEZn、B2H6；非晶/微晶硅沉积工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。
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