气体的监测和分析是检查气体质量、确保用气点或用气设备能所用高纯气体的重要手段，也是保证安全生产的重要措施。高纯气体的监测与分析，只有采用先进的分析方法和精密的分析仪器，才能获得精i确的分析数据。气体监测和分析的重要性随着晶片的几何结构缩小，集成电路集成度的不断提高，即使有极微量的气态杂质的沾污和的尘埃污染，也会给生产带来严重的破坏性。
工业气体是指氧、氮、氩、氙、氢、二氧化碳、乙i炔、等。气体工业名词术语（标准气体、高纯气体、特种气体）1。特种气体(Specialtygases)：指那些在特定领域中应用的,对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。1。特种气体：指那些在特定领域中应用的,对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。2、标准气体：标准气体属于标准物质。
标准气体充装规则1、标准气体充装前应先编制充装程序，确保充装过程安全可行，充装时选择优化的操作工艺，一般按组分浓度和分压，递增的次序充入组分。2、混合气中含可凝结组分时，充装压力应在i低使用温度下，可凝结组分的分压不超过该温度时其饱和蒸汽压的70%。3、充装的混合气体应确保组分之间的相容性，禁止充装、范围内的混合气体，不充装易发生化学反应的气体。4、含有毒组分的混合气体在充装过程中，管道内的残气禁止排入室内或大气中，必须经解i毒或回收处理后才能放空。
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