灭菌特种气体可杀灭细菌（及其内孢子）、霉菌及真菌，因此可用于消毒一些不能耐受高温消毒的物品。特种气体的储存注意事项：储存高压气体≥300m，液化气≥3000kgs时，储存场所需要经过县级以上相关单位批准。高压容器储存场所出入口及显眼处，需设有安全警示牌。特种气体主要包括高纯气体、电子气体、标准气体三大类，电子特种气体（简称电子特气）是特种气体的 一个重要分支，是超大规模集成电路（IC）、平面显示器件（LCD、LED、OLED）、太阳能电池等电子工业生产不 可或缺的原材料。
特种气体分类：标准气体严格意义上应称为标准校正气体，是一种高度均匀， 稳定性良好和量值准确的气体，可分为单元标准气体和多元标准气体，目前标准气基本 满足了我国石油、化工、环保、传感器校核等诸多领域的需求，特种气体分类：从应用领域划分，特种气体主要有电子气体、高纯气体和标准气体三种，广泛应用 于电子半导体、化工、环保和高装备制造等领域。20 世纪 80 年代，电子产 业的兴起推动特种气体的需求提高，随着气体供应商供气模式的引入，国内 企业原有的气体车间、气体厂和供气站等纷纷发展为独立的气体公司，国内特种气体市 场逐步发展起来。
特种气体在太阳能电池中的应用：非晶硅太阳能 电池在 LPCVD 沉积 TCO 工序用到 DEZn、B2H6；非晶/微晶硅沉积工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。特种气体种类：电子气体可以分为电 子特种气体和电子大宗气体。电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻 蚀、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“粮食” 和“源”。特种气体从应用领域来看，主要包括电子气体、标准气体、食品气体、电光源气体等，其中，电子气体广泛用于集成电路、显示面板、光伏能源、光纤光缆等电子产业的加工制造过程，是下游的行业关键性化工基础材料，被誉为电子产业的“血液”。
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