高纯氩气的国家履行标准是GB/T10624—1995，质量要求到达99.999%以上。
氩气是采用空气分离提氩，即将液化的空气进行精馏,得到粗氩.抽出粗氩,经进一步提纯可得到高纯氩，高纯氩在半导体工业中用作出产高纯硅和锗晶体的保护气体；可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体；在化学气相堆积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯氩也可作为色谱载气.氩被广泛用来充填弧光灯、荧光灯和电子管；焊接保护气；在钛、钴和其他活性金属的出产中用作屏蔽气；在黑色冶金中用于吹炼特种钢。
瓶装气体产品内充高压气体，使用前减压减压。包装好的钢瓶具有使用寿命，所有过期的钢瓶必须送部门进行安全检查后才能再次使用。每瓶使用废气时，瓶内残余压力应保持在0.5mpa，压力不应小于0.25mpa。为保证气体质量和安全使用，应关闭气瓶阀门。瓶装气产品在运输、储存和使用过程中应分类堆放。严禁将气体和助燃气体堆放在一起。
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