特种气体分类：电子气体是指用于半 导体及其它电子产品生产的气体，目前，我国电子气体品种基本齐全，但数量和质量与 发达国家相比，尚有较大差距；特种气体指半导体生产环节中，比如延伸、离子注进、掺和、洗涤、 遮掩膜形成过程中使用到一些化学气体，也就是气体类别中的电子气体，特种气体的重要性：在半导体工艺中，从芯片生长到后器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离 不开电子特气，因此电子气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。
特种气体在太阳能电池中的应用：晶体硅电池片生产中的扩散工艺用 到 POCl3 和 O2，减反射层 PECVD 工艺用到 SiH4、NH3，刻蚀工艺用到 CF4；灭菌特种气体由于它的活泼型，杀菌力强、杀菌谱广，对物品损害轻微等优点，已成为目前主要的日常低温灭菌方法之一，特种气体的重要性：电子特种气体决定了集成电路的终良率和可靠性。由于电子气体用途多，用量大。所以电子气体也直接决定了 终芯片的良率和可靠性，
特种气体的储存注意事项：储存高压气体≥300m，液化气≥3000kgs时，储存场所需要经过县级以上相关单位批准。高压容器储存场所出入口及显眼处，需设有安全警示牌。特种气体在太阳能电池中的应用：晶体硅电池片生产中的扩散工艺用 到 POCl3 和 O2，减反射层 PECVD 工艺用到 SiH4、NH3，刻蚀工艺用到 CF4；特种标准气体严格意义上应称为标准校正气体，是一种高度均匀，稳定性良好和量值准确的气体，它可以是单一的纯气体或高纯气体，也可以是由多组分气体配制而成的混合气体。标准气体属于标准物质之一，故又称为气体标准物质。
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