气体的监测和分析是检查气体质量、确保用气点或用气设备能所用高纯气体的重要手段，也是保证安全生产的重要措施。高纯气体的监测与分析，只有采用先进的分析方法和精密的分析仪器，才能获得精i确的分析数据。气体监测和分析的重要性随着晶片的几何结构缩小，集成电路集成度的不断提高，即使有极微量的气态杂质的沾污和的尘埃污染，也会给生产带来严重的破坏性。
从气体种类上来说，空分气体（氮气、氧气和氩气）仍是工业气体的主要产品，份额占一半以上。合成气体（氢气、二氧化碳、乙i炔等）有35%左右。特种气体（高纯气体和电子特种气体）占8-10%的份额。从应用上来说，冶金用空分气体较多，化工行业用合成气体较多，而特种气体更多用于电子行业。从气体供应角度来说，不同的供应模式有着不同的特点。
工业气体是指氧、氮、氩、氙、氢、二氧化碳、乙i炔、等。气体工业名词术语（标准气体、高纯气体、特种气体）1。特种气体(Specialtygases)：指那些在特定领域中应用的,对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。1。特种气体：指那些在特定领域中应用的,对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。2、标准气体：标准气体属于标准物质。
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