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高纯气体的重要标度 通常，高纯气体系指气体中含较少杂质气氛（纯度），高纯工业气体，微量水份（干燥度）污染物粒子的娄量保持在i低限度，其粒度也应是i小的（洁净度）。因此，对于高纯气体，纯度、干燥度、洁净是三项重要的标度。 特别是近10年来，随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产，对高纯气体洁净度的要求，高纯工业气体价格，其重要程度已不亚于对纯度和干燥度有严格要求的用气工艺，无一不对其中的粒子提出限制。
工业气体液氨、氨的理化性质：
无色气体，有刺激性恶臭味。分子式NH3。分子量17.03。相对密度0.7714g/l。熔点-77.7℃。沸点-33.35℃。自燃点651.11℃。蒸气密度0.6。蒸气压1013.08kPa(25.7℃)。蒸气与空气混合物爆i炸极限16～25%(易引燃浓度17%)。氨在20℃水中溶解度34%，25℃时，安徽工业气体，在无水乙醇中溶解度10%，高纯工业气体厂，在甲i醇中溶解度16%，溶于氯i仿、乙i醚，它是许多元素和化合物的良好溶剂。水溶液呈碱性，0.1N水溶液PH值为11.1。
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