高纯氧气主要用于标准气配制，安徽气体，集成电路和半导体器件生产，气体批发，气体火焰加工。
对于MOS场效应器件，氧化层必须相当致密。与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。高纯氧用于二氧化硅的化学气相淀积；作为氧化源和产生高纯水的反应剂；采用高纯氧气进行干法氧化，其氧化层结构致密，正电荷少，耐压高。还用于金属的切割和焊接、炼钢、国防、电子、化工、冶金等部门。
氧气是一种化学性质比较活泼的无色无味的气体，气体报价，它可以与金属、非金属、化合物等多种特物质发生氧化反应，反应剧烈程度因条件不同而异，可表现为缓慢氧化、烧、爆等，反应中放出大量的热。
1、无色气体 2、能溶于水 3、密度比空气大 ρ＝1.977g/l 4、干冰—固态CO2易升华
化学性质
1、既不能燃烧，也不支持燃烧 2、CO2不能供给呼吸
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