高纯氧气主要用于标准气配制，安徽氧气，集成电路和半导体器件生产，气体火焰加工。
对于MOS场效应器件，氧化层必须相当致密。与四氟化碳混合，工业氧气，用于等离子刻蚀。高纯氧用于二氧化硅的化学气相淀积；作为氧化源和产生高纯水的反应剂；采用高纯氧气进行干法氧化，其氧化层结构致密，正电荷少，耐压高。还用于金属的切割和焊接、炼钢、国防、电子、化工、冶金等部门。
化学工业：在生产合成氨时，氧气主要用于原料气的氧化 工业氧气，高纯氧气价格，以强化工艺过程，提高化肥产量。再例如，重油的高温裂化，罐装氧气，以及煤粉的气化等。国防工业：液氧是现代火箭i好的助燃剂，在超音速飞机中也需要液氧作氧化剂，可燃物质浸渍液氧后具有强烈的爆i炸性，可制作液氧炸i药。使用：在工作地点 小型工业氧气机，氧气瓶应直立用链件或专门的夹子固定；因条件限制不能直立时，应垫高瓶头卧放。
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