气体的监测和分析是检查气体质量、确保用气点或用气设备能所用高纯气体的重要手段，也是保证安全生产的重要措施。高纯气体的监测与分析，只有采用先进的分析方法和精密的分析仪器，才能获得精i确的分析数据。
气体监测和分析的重要性
随着晶片的几何结构缩小，集成电路集成度的不断提高，气体供应，即使有极微量的气态杂质的沾污和极小的尘埃污染，高纯气体，也会给生产带来严重的破坏性。
高纯气体-甲烷化学性质
甲烷的化学性质比较不活泼.常温下，安徽气体，很难与酸、碱、氧化剂等发生反应，高纯标准气体，但在加热情况下，它能与一些物质时行反应，在适当条件下能发生氧化、卤化、热解等反应.
甲烷的可燃性、爆作性和毒性
甲烷是一种可燃性气体，自燃点为537℃.甲烷与空气的混合气体在点燃时会发生爆作.在空气中的体积爆i炸范围为5.3-4.0%，质量爆迷途知炸范围为35-93毫克/升.甲烷与氧气的体积爆i炸范围懔8.25-55.8%.甲烷和氯i气的混合气，受到日光照射时，也容易引起爆i炸.
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